Kawasaki Cleanroom NX540

La NX540 de 3 enlaces, estructura rígida de un solo brazo que puede alcanzar fácilmente las etapas de las obleas con un espacio de alto rendimiento de 300 obleas por hora (WPH) desde FOUP hasta el alineador, y luego hasta el escenario con un brazo manipulador doble. cumple con los estándares de ISO Clase 1, sistema estándar SEMI-F47 de solución inmediata a la caída de voltaje y reinicio del sistema automático cuando se restablece el voltaje, protección SEMI-S2 estándar para el medio ambiente, seguridad personal, sistema anticolisión

• Sistema digital completo servo
• Ejes controlados: máximo 7 ejes
• Enseñanza manual, semiautomática, totalmente automática.
• Parada de emergencia externa, cerca de seguridad, parada externa.
• Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
• Software: K-Utility (comando de comunicación original de Kawasaki para robots limpios).
• Energía: Voltaje: monofásico, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Estándar: SEMI F47.
• Señal de entrada: máximo 16 canales.
• Señal de salida: un máximo de 8 canales
• Serie de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX y NV

• Sistema digital completo servo
• Ejes controlados: máximo 12 ejes
• Enseñanza manual, semiautomática, totalmente automática.
• Parada de emergencia externa, cerca de seguridad, parada externa.
• Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
• Software: K-Utility (comando de comunicación original de Kawasaki para robots limpios).
• Energía: Voltaje: monofásico, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Estándar: SEMI F47.
• Señal de entrada: un máximo de 96 canales
• Señal de salida: un máximo de 80 canales
• Serie de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX y NV