Kawasaki Cleanroom NX520

El NX520 con 2 enlaces, estructura rígida de doble brazo que puede alcanzar fácilmente las etapas de obleas con un espacio de alto rendimiento de 200 obleas por hora (WPH) desde FOUP hasta el alineador, y luego hasta el escenario con un manipulador de brazo doble, cumple con los estándares de ISO Clase 1, sistema SEMI-F47 estándar de solución inmediata a la caída de tensión y reinicio del sistema automático cuando se restablece la tensión, protección ambiental estándar SEMI-S2, seguridad personal, sistema anticolisión.

• Sistema digital completo servo
• Ejes controlados: máximo 7 ejes
• Enseñanza manual, semiautomática, totalmente automática.
• Parada de emergencia externa, cerca de seguridad, parada externa.
• Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
• Software: K-Utility (comando de comunicación original de Kawasaki para robots limpios).
• Energía: Voltaje: monofásico, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Estándar: SEMI F47.
• Señal de entrada: máximo 16 canales.
• Señal de salida: un máximo de 8 canales
• Serie de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX y NV

• Sistema digital completo servo
• Ejes controlados: máximo 12 ejes
• Enseñanza manual, semiautomática, totalmente automática.
• Parada de emergencia externa, cerca de seguridad, parada externa.
• Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
• Software: K-Utility (comando de comunicación original de Kawasaki para robots limpios).
• Energía: Voltaje: monofásico, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Estándar: SEMI F47.
• Señal de entrada: un máximo de 96 canales
• Señal de salida: un máximo de 80 canales
• Serie de robots compatibles: NS, NT, NX, TT, TX y NV